重生2004年重新开始第2074章 研究方向

此刻两人心潮澎湃他们觉得在新老板的带领下一定能够制造出完全属于华国的光刻机当然了他们也知道即便造出来和国外的差距依然不小但就像老板说的那样只要完成了全产业链布局接下来的更新速度会更快的所以他们很有信心。

“老板放心我们知道该怎么做了。

” “好。

”林语点了点头“现在我们言归正传来说说两组的研究方向吧！” 刘成林和王乾伟全都认真起来尤其将笔拿热起来准备记录。

“第一组继续DUV光刻机的研发但是要做些更改选择193nm的紫光进行研究将镜头和光刻胶之间的介质改为液体这些紫光经过折射后等效波长为134nm从而实现比F2光源更高的分辨率。

当然了这么改的原因在于F2光源无法穿透水因此无法和浸没式技术相结合进一步提升分辨率。

而沉浸式技术在光刻精度上更高一些。

当然了这个穿透的介质可能是水也可能是添加了其他元素的液体这就需要你们反复的研究了。

” 在场的人全都被惊到了因为老板显然是对技术有一些了解的虽然不是那么的专业但是能够说出问题的关键。

“老板我们采用的技术和现在排名第一和第二的光刻机公司一样所以您的这个路线可能......”刘成林质疑道但是他并没有直接说老板的路线是错的但已经暗指了。

“按照我说的去做没有商量的余地......”林语严肃的说道“你们虽然研制出了光刻机但是可以说它是个组装机而且85%的零件全都是进口的先不说和国外先进光刻机还有一定的差距光是零部件被限制就会影响你们的研发进度所以必须另辟蹊径只有这样才能弯道超车。

” 听到林语的话刘成林的眉头皱了一下因为他显然没想到老板竟然没听他的话而且能够看的出来老板有些独断专行但是既然老板这么说了他也不能说什么了毕竟老板给他们涨了工资还加大了投资老板怎么说就怎么做吧！ 而王乾伟却瞪大了眼睛因为他觉得老板说到了点子上通过折射将紫光波长减小岂不是一个好的办法吗？因为他去参加过国外举办的一个座谈会发现（深紫外)光刻的专家就曾和他推过沉浸式光刻机技术说的就是采用193nm紫光然后通过介质改变波长。

只不过由于前两大巨头全都选择了157nm的F2的准分子光源作为研发方向制作干式光刻机所以他们也跟着做了这样的研究因为他们知道跟着老大老二肯定是没错的。

林语看出刘成林有些不服气这也是可以理解的毕竟刘成林是专业也是科研大拿但他可是重生而来知道哪条路是行得通的所以这个时候必须要按照他说的去办这样能够少走很多弯路。

当然了他也只是知道研发方向的事情说的也只是一些的皮毛但是他们肯定能够听明白的只要按照林语说的去研发肯定就没有问题。

“先研发出来浸没式光刻样机等研发出来继续研发下一代光刻机但同步要将生产线做出来生产线也要完全自主设计、研发、制造不需要多只需要一条就可以这条生产线也不是为了量产光刻机而是为了下一代的生产线做研究因为我们造出的第一台光刻机可能并不是那么的先进造出的光刻机也不会销售只会交给公司自己使用。

” “下面我说说这一组研发的第二代产品我说的第二代不是软件和硬件的更新而是彻底的改变设计思路这次采用的不是深紫光而是采用极紫光。

” 林语的话刚刚说完所有人全都瞪大了眼睛因为这个概念他们完全没有听到过。

因为他们连深紫光都没有研究明白又怎么会研究极紫光。

林语也是看出了众人的惊讶他直接说道 “极紫光是波长在13.5nm的紫光由于这种光拥有很大的破坏性所以对各零部件的材料和工艺有很大的要求而且这种波长的光需要在真空条件下工作更为重要的是他需要一款专用的反射镜这款反射镜的精度必须达到pm级别你们在研发第一代产品的时候就可以着手在零部件上超越你们现有的研究只有这样才能更快的研发出我说的极紫光刻机。

” 只见台下的科研人员不停的用笔记录着因为他们知道这是一个全新的研发方向因为老板竟然说出了具体的数值尤其是那精度pm级别的反射镜哪怕是用在现有的光刻机上都能进一步提高精度。

刘成林和王乾伟两人深呼了一口气尤其是刘成林他知道老板是做了功课的因为这种研究方向竟然连他这个搞了二十多年光刻机的人都不知道但是听起来又是那么的可行。

他竟然咬紧牙关为之前对老板的质疑而感到惭愧。

“老板这些你都是怎么知道的？” “这你们就不用管了按照我说的方向去做研究错误的单由我来承担你们放心去做就行。

” 刘成林情不自禁的点了点头这次他是真心佩服老板的。

不是说老板说的有多么专业而是老板所说的方向是他没有想到过的。

但是通过老板的叙述还是能够看的出来老板对技术并不是很懂他可能也是从别处得到的研发方向只是转述出来但肯定是最先进的方向不然他不会这么肯定的。

林语继续说道 “有些零件从零开始去做是很麻烦的所有可以购买一些成品然后反复的研究当然也可以去高新区挖一些关键的人才用钱去解决的问题都不是问题。

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